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氧含量是指規中間隙氧元素的含量，單位個/立方厘米,半導體材料的氧含量過多，將減少少數載流子的復合壽命，從而導致最終的電池片的效率降低，目前的行業標準為氧含量<=1*10E18個/立方厘米。 碳含量是指半導體材料中的代位碳元素的原子含量，單位個/立方厘米，碳含量除了能影響最終電池片效率外，更重要的是過多的碳含量將使的硅片易碎，提升了產品碎片率，降低了成品率，目前的行業標準為碳含量<=5*10E16個/厘米。
