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當(dāng)前位置:半導(dǎo)體行業(yè) >> 材料測試 >> 晶向測試
               晶體中原子是無限周期性排列的,因此任意一種平面都不止一個(gè),而是有許多個(gè)相互平行的平面,成為晶面族。我們可以選擇一個(gè)坐標(biāo)系來描寫它:以已知驚天的空間格子中三個(gè)方向作為坐標(biāo)軸,這三個(gè)軸之間的夾角可以是任意的,每個(gè)圓子的坐標(biāo)與坐標(biāo)軸上的周期都成整數(shù)關(guān)系。對單晶硅而言,由于它屬于立方晶系,所以可以取三個(gè)結(jié)晶軸互相垂直,三軸上的單位周期也相等。一個(gè)平面的空間位置在結(jié)晶學(xué)上通常用密勒指數(shù)來描寫,它定義為晶面與三個(gè)軸截距的倒數(shù)。若用(hkl)表示晶面,用{hkl}表示晶面族,h、k、l的倒數(shù)就是晶面族{hkl}中距原點(diǎn)最近的晶面在坐標(biāo)軸上的截距,通族的其他晶面的截距為這組最小截距的整數(shù)倍。如我們常見的(111)面,就是只該平面與坐標(biāo)系的三個(gè)軸(假設(shè)為x、y、z軸)的截距均為一個(gè)周期,所以截距的倒數(shù)為(111),如圖1.1所示。若某一個(gè)平面在X軸上的截距為一個(gè)周期,并且平行于y軸的截距為一個(gè)周期,而平行于x軸和z軸,則該晶面為(010)面,其他可以類推。圖1.3是金剛石結(jié)果各晶面的空間位置。 晶面的方向以垂直于該面的發(fā)現(xiàn)方向表示,如(111)晶面方向以[111]表示。通常講結(jié)晶方向就是指的這個(gè)發(fā)現(xiàn)方向,也就是晶體沿相應(yīng)的平面族生長的方向。

 

 

    

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