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當(dāng)前位置：半導(dǎo)體行業(yè) >> 材料測(cè)試 >> 單晶AB微缺陷 
               襯底材料中的AB微缺陷對(duì)器件的性能有明顯的影響，AB微缺陷密度對(duì)了解襯底質(zhì)量和提高器件性能是一個(gè)不可忽略的參數(shù)。
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