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主摻雜質、固態(tài)外擴散雜質、氣相自摻雜質、系統(tǒng)自摻雜質和金屬雜質等五類雜質源是外延層中的常見雜質。主摻雜質決定外延層的電阻率。固態(tài)外擴散、氣相自摻雜和系統(tǒng)自摻雜影響襯底界面附近的外延層雜質濃度的深度分布。金屬雜質在外延層中對器件有害。雜質濃度檢測對外延層的整體品質控制其著不可忽視的作用。
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