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當(dāng)前位置:半導(dǎo)體行業(yè) >> 材料測試 >> 硼含量
           

     硅中磷元素含量,目前行業(yè)測量基本含量主要有GDMS/ICP -MS質(zhì)譜檢測儀、低溫紅外傅立葉光譜儀、 硼棒法(硅多晶真空區(qū)熔基硼檢測法)。

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