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當前位置：半導體行業 >> 研磨拋光片 >> 厚度/TTV 
               厚度是指研磨片或者拋光片的厚度。TTV是Total Thickness Variation的簡稱，翻譯過來叫總厚度變化，即所所有測點的最大厚度與最小厚度的差值。拋光片表面總厚度變化是衡量拋光片表面質量的重要幾何參數指標 ,對后序的器件工藝及集成電路工藝有著至關重要的影響。
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