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在機(jī)械學(xué)中,粗糙度指加工表面上具有的較小間距和峰谷所組成的微觀幾何形狀特性。它是互換性研究的問(wèn)題之一。表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的,當(dāng)前對(duì)外延層的粗糙度要求國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)是<=0.2nm.