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III氮化物外延片中存在大量的穿透位錯,使外延層膜呈現鑲嵌結構,晶粒為平行于生長方向的柱狀,其高度約等于膜厚,寬度約1μm。對于這種鑲嵌，X射線衍射搖擺曲線的加寬主要來源于晶體中的缺陷，其他因素造成的加寬不會超過實際測量值的10%。因此，對于III族氮化物外延片的結晶質量，目前最好的測量方法是高分辨率X射線衍射方法，包括雙晶搖擺曲線或者三軸晶衍射ω掃描。根據晶體質量與搖擺曲線半高寬的相關性，通過分析搖擺曲線，可以得到結晶質量的信息：晶體的完整性越高，半高寬越小，反之則越大。
