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激光橢偏儀

多角度激光橢偏儀


多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量,能夠測量薄膜厚度及其光學常數,使用632.8nm波長氦氖激光器,具有極高的精確度和準確度。



多角度激光橢偏儀 - 產品特點

可以測量單晶電池片、多晶電池片
可以測量拋光片,精確度和準確度極高
可以測量粗糙表面的“絨片”
適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(偏振因數)進行測量和評估,提高測量精度
配置有高穩定度補償器,提供最小的漂移值和最小的測量誤差
配置有高精度的自動光學對準顯微鏡
可進行20°-90°范圍內的多角度測量



多角度激光橢偏儀 - 測量特點

非破環性檢測
樣品準直簡單方便
測量速度快
可變入射角范圍寬
絕對測量
軟件分析功能強



多角度激光橢偏儀 - 技術指標

光源:He-Ne激光器
光斑直徑:1-2mm
入射角范圍:20°到90°,5°/步
精度:0.002°~ 0.02°
膜厚精度:0.01mm,對100nmSiO2on Si
折射率精度:0.0005,對100nmSiO2on Si
激光光斑:直徑1mm
激光波長632.8 nm




多角度激光橢偏儀 - 典型客戶

美國,歐洲,亞洲及國內太陽能及半導體客戶。

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