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  • 晶體表面油污檢測及處理方案
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    					晶片表面有油污,很難以檢測到,即便用KLA也難以判斷,這主要是有檢測原理決定的。有污染的晶片若被應用的外延,就會嚴重影響到LED的品質,使成品率下降。所以,如果要排除污染,就必須有一個專業的設備進行探測與判斷。
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