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當前位置:檢測與校驗 >> 檢測實驗室 >> 中科院微電子設備技術研究室
                

微電子設備研究室

    中國科學院微電子研究所微電子設備研究室于2010年底建成重大科研裝備研發與Demo測試平臺實驗室,該實驗室按照千級凈化標準建造,是針對下一代集成電路設備關鍵技術、太陽能電池裝備、高亮度LED制造裝備和通用型微細加工設備進行自主研發,特別是針對亞32nm節點CMOS工藝、MEMS工藝、太陽能電池工藝和其它特殊工藝,進行設計、加工、及測試服務。集微米、納米加工和檢測手段于一體,具有先進的、有特色的多功能的加工及檢測平臺 。被納入集成電路測試技術北京市重點實驗室、中國科學院微電子器件與集成技術重點實驗室、全國納米技術標準化技術委員會微納加工技術標準化工作組、北京集成電路測試技術聯合實驗室等。

    實驗室正在逐漸建設成為一個融集成電路、新能源、LED和通用型設備、工藝的基礎研究、加工、裝配和測試分析于一體的完善的研究開發和用戶服務體系。

    實驗室可以提供萬級凈化環境的裝配車間,工藝設備和測試儀器可以提供對外加工服務,可以進行項目合作開發,為高校提供實習實踐基地等,隨時歡迎您的到來!

部分設備介紹

原子力顯微鏡

    可用來測量直徑可達200毫米的半導體硅片、刻蝕掩膜、磁介質、CD/DVD、生物材料、光學材料和其它樣品的表面特性。掃圖最寬范圍為90um*90um,最深臺階<10um。Z軸精度可達0.1nm,XY精度可達1nm。

激光共焦顯微鏡

    可獲得分辨率高達0.12μm的表面顯微圖像,通過處理圖像,獲得樣品表面的三維真實形態,最終可測得亞微米級的線寬,面積,體積,臺階,線與面粗糙度,透明膜厚,幾何參數等測量數據。

臺階儀

    主要應用于薄膜的厚度測量、物體表面形貌測量、應力測量和平整度等精密測量。低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測量靈敏度小于6 埃的步進高度可重復性。 可測臺階<300um,精度可到6埃。

橢偏儀

    目前世界范圍內最先進的全自動橢偏儀,專利光斑可視技術,高精度,8種微光斑尺寸,可測薄膜的厚度,光學參數等。

電阻測試儀

    四探針法測量表面電阻,矩形最大可測156*156mm,圓片最大8inch,可生成mapping圖。

光學顯微鏡

    電腦實時顯示成像,可測8inch。電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。 UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。配有1.25倍物鏡,最大可檢查范圍的直徑為20.8mm

同步熱分析儀

    覆蓋 -150 至 2000℃ 的寬廣的溫度范圍。可以快速而深入地對材料的熱穩定性,分解行為,組分分析,相轉變,熔融過程等進行表征。

 太陽能電池IV測試儀

    最大可測矩形片156*156mm,圓片8inch,模仿太陽光照射下的IV曲線。

光學輪廓儀

    測量樣品表面粗糙度,主要針對光滑表面,測量垂直分辨率是0.1nm,最大縱深為 1um。測量表面臺階高度,的最大高度可達 5mm。

傅立葉紅外光譜儀

    適用于液體、固體、金屬材料表面鍍膜等樣品。它不僅可以檢測樣品的分子結構特征,還可對混合物中各組份進行定量分析,本儀器的測量范圍為(7500~370) cm-1,常用波數范圍(4000~400) cm-1【對應波長范圍為(2.5~25)μm】。

 X射線衍射儀

    儀器采用當前最先進的技術,測角儀測角準確度與精確度達到當前世界先進水平, 保證衍射峰位、峰形和強度測量準確、精確。可進行粉末物相分析、晶粒大小判斷、結晶度分析、物相含量分析、薄膜分析。儀器包括X射線發生器、高精密測角儀、人工多層膜聚焦鏡,五軸薄膜樣品臺、計算機控制系統、數據處理軟件、相關應用軟件等。

全自動反射式薄膜測量儀

    為自主研發設備,可測量硅晶太陽能絨面減反膜,單晶及多晶太陽能基底,一般薄膜膜厚測量,硅晶太陽能絨面減反膜及一般薄膜折射率測量(光學常數 n&k),電動平移臺實現全表面自動掃描,深紫外寬光譜(有效光譜范圍210nm-1000nm),測量時間:<2s/點,可實現快速精確測量,自動數據分析和報告生成。

霍爾效應測試儀

    本儀器主要用于量測電子材料重要特性參數,如載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數等。薄膜或體材料均可,其原理主要依據范德堡法則。除了用來判斷半導體材料導電類型(n或p)以外,它還可應用于LED外延層的質量判定、判斷在HEMT組件中二維電子氣是否形成以及太陽能電池片的制程輔助。

工藝設備

1. 磁控濺射臺 型號:SP-3

現有靶材為Ta Cu SiTiMoNi,其它薄膜濺射自帶靶材,最大可同時放入三片6寸圓片。濺射腔室可通入氣體:ArN2H2O2,濺射速率0.10.25nm/S(視材質而定)。 

2. 等離子體浸沒式離子注入機  PIII-100

該設備由控制系統、真空系統、氣路系統、射頻電源、反應室等五部分組成。可用于半導體材料的PN型注入,也可用于HHeAr的注入用于智能剝離SOI材料的研究。 

 

3. 紫外光刻機 URE-2000/A

 

本設備主要用于紫外接近、接觸式光刻制造小規模集成電路、半導體器件、紅外器件、微機電系統(MEMS)等,可曝光2’’-6”圓片, 套刻工藝加工,燈源采用1000W直流高壓汞燈,曝光波長使用365nm 

 

4. 快速退火爐 AW810M

溫度范圍為常溫至1200℃,升溫速度快,加熱至最高溫度僅需30S,可通N2O2進行工藝。 

 

5. 硅片清洗機 SFQ-1508T

 

主要應用于各種半導體基片及類似材料制造過程中的濕法清洗工藝。如半導體硅片、砷化鎵,太陽能電池板,掩模板及各種平板顯示器等。最大可清洗片子尺寸:Φ300mm , 含酸堿槽、氫佛酸槽,清洗槽最高加熱溫度可達200℃

 

6. 旋轉沖洗甩干機 CXS-2200B

 

該設備是高潔凈度沖洗甩干設備, 結構采用凈化處理技術,去離子水電阻率監控,可甩干2-8寸晶圓,125*125,156*156方片。

 

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了解更多,請和我們聯系4006-365-048

 

 

 

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