當前位置：檢測儀器 >> 硅料硼磷含量測試儀
產品介紹:
硅料磷、硼雜質含量測試儀，其主要用途是對多晶硅料的包括磷硼含量在內的超過75個元素進行分析。
產品特點:
■ 干擾少，精密讀高，可以測量至 ppb 甚至 ppt 級的微量元素
■ 測試范圍廣，可以測量超過 75 個以上的元素
■ 分析速度快，每個樣品的所有元素 2-6 分鐘
■ 可同時分析多種元素 , 尤其適合分析用其它方法難以測定的元素
■ 超高靈敏度的元素分析儀器
■ 能進行無人控制操作
■ 具有痕量檢測能力
■ 極低的儀器背景至 0.5-0.05cps
■ 體積小巧、功能全面
■ 可迅速獲取同位信息，進行半定量分析
■ 最快的全譜同時測量能力和強大的抗干擾能力
■ 分辨率與靈敏度的最佳配置，優異的穩定性以及無與倫比的同位素豐度比值測量精密度
■ 動態線性范圍達到 7 個數量級以上
■ 每一個樣品中需要測量的元素數量多少均不影響樣品分析的整體速度
技術指標:
■ 檢出限： ppt 級
■ 樣品分析能力：多元素分析，可以測量超過 75 個以上的元素，每個樣品的所有元素 2-6 分鐘
■ 測試范圍：可測包括 B 、 P 等在內的超過 75 個元素
■ 線性動態范圍： 10的8次方
推薦工作條件:
■ 室內環境溫度15～30℃；相對濕度（全天候）不超過60%
■ 室內無強磁場干擾；無妨礙儀器正常工作的震動
■ 室內環境清潔、干燥、沒有灰塵、無腐蝕性氣體
■ 硅料磷硼含量測試儀是精密儀器 ，為防止酸、堿及其它腐蝕性氣體、煙霧侵蝕儀器，必須和化學實驗室分開；儀器光學系統對濕度、溫度要求很高，實驗室應安裝空調及去濕設備
