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1、方法原理
原理：利用硅區熔時硅中磷硼有效分凝系數的差別及磷硼從硅中蒸發系數的差別。
方法：氣氛區熔法。
2、試樣制備
2.1 取樣部位
除在橋形硅多晶棒硅芯達接或者直的硅多晶棒離石墨卡頭10mm一段外均可取樣。
2.2 試樣尺寸
直徑：10-40mm
長度：20-200mm
