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性能參數: 1. 全元素分析(H—U) 2. 同位素分析(所有元素) 3. 高靈敏度(優于1ppm,多數元素可達1ppb 4. 深度剖析(深度分辨率可達2nm) 5. 二次離子圖像分析(分辨率優于1μm