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當前位置:檢測儀器 >> 二次離子質譜儀
                

性能參數:
        1. 全元素分析(H—U)
        2. 同位素分析(所有元素)
        3. 高靈敏度(優于1ppm,多數元素可達1ppb
        4. 深度剖析(深度分辨率可達2nm)
        5. 二次離子圖像分析(分辨率優于1μm

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